安捷倫分子泵是一種高速旋轉的機械泵,因此對平衡的要求很高,對固體異物非常脆弱,通常要在分子泵的入口處安裝金屬過(guò)濾網(wǎng)。分子泵是利用高速旋轉的轉子把動(dòng)量傳輸給氣體分子,使之獲得定向速度,從而被壓縮、被驅向排氣口后為前級抽走的一種真空泵。常規的分子泵使用軸承來(lái)確保葉片的高速旋轉。新型的分子泵采用磁懸浮構造,使得葉片轉速不斷提高的同時(shí),更使分子泵適合超高真空系統,也延長(cháng)了分子泵的使用壽命。
安捷倫分子泵的操作需嚴格遵循規范,以確保其性能、延長(cháng)使用壽命并避免設備損壞。以下是分子泵操作的關(guān)鍵注意事項:
一、啟動(dòng)前的準備
檢查電源與控制系統
確保分子泵的電源電壓、頻率與設備要求匹配,接線(xiàn)牢固可靠。
檢查控制系統(如變頻器、溫控器)是否正常運行,參數設置是否正確。
確認真空環(huán)境
分子泵必須在高真空環(huán)境下啟動(dòng),禁止在大氣或低真空狀態(tài)下直接啟動(dòng),否則會(huì )導致葉片過(guò)熱損壞。
使用前級泵(如機械泵)將系統抽至較低壓力(通常低于10 Pa),再啟動(dòng)分子泵。
檢查冷卻系統
分子泵運行時(shí)會(huì )產(chǎn)生熱量,需確保冷卻水(或風(fēng)冷系統)正常循環(huán),避免過(guò)熱。
檢查冷卻水管路是否暢通,水流開(kāi)關(guān)是否正常,水溫是否在允許范圍內(通常≤30℃)。
檢查振動(dòng)與噪音
手動(dòng)旋轉分子泵轉子,確保無(wú)卡頓或異常摩擦聲,避免異物進(jìn)入泵內。
二、啟動(dòng)步驟
開(kāi)啟前級泵
先啟動(dòng)前級泵(如機械泵),將系統壓力抽至分子泵允許的啟動(dòng)壓力以下(通常<10 Pa)。
啟動(dòng)分子泵
緩慢增加分子泵的電機轉速(通過(guò)變頻器控制),避免瞬間高速啟動(dòng)導致電機過(guò)載或葉片損傷。
觀(guān)察分子泵的運行電流和振動(dòng)情況,確保平穩加速至額定轉速。
監控真空度
啟動(dòng)后,密切關(guān)注系統真空度的上升情況,確認分子泵抽氣效果正常。
三、運行中的維護
保持冷卻系統穩定
持續監測冷卻水溫度、流量和壓力,確保散熱效果良好。
定期清洗冷卻水過(guò)濾器,防止堵塞。
注意異常聲音和振動(dòng)
分子泵運行時(shí)應平穩無(wú)異常噪音,若出現異響或振動(dòng)過(guò)大,需立即停機檢查,可能是軸承磨損或葉片失衡。
避免返流污染
在高真空系統中,避免突然切斷分子泵電源或關(guān)閉閥門(mén),防止空氣倒灌導致葉片污染或氧化。
定期檢查油潤滑分子泵
對于需要潤滑油的分子泵,定期檢查油位和油質(zhì),及時(shí)更換老化或污染的潤滑油。
四、停機操作
逐步降速停止
關(guān)閉分子泵電源前,先通過(guò)變頻器降低轉速至低值,再完q斷電,避免瞬間停機造成沖擊。
關(guān)閉前級泵
分子泵完q停止后,再關(guān)閉前級泵,防止系統壓力驟升對分子泵造成損害。
隔絕大氣
停機后,立即關(guān)閉真空系統的閥門(mén),防止空氣進(jìn)入泵內導致污染或氧化。